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主要使用导电性MC尼龙。具有10^6Ω/cm的体电阻率和较低的电阻值,对静电防护非常有效。
关于卡扣式PEEK棒,由于机构部分采用了插拔式固定件,因此拆装方便,清洗也容易。
通过控制箱,即使长时间连续运行也能实现稳定的定位。
也支持薄至300微米级别的晶圆。
本体尺寸:宽290×深190×高100(mm)/重量:2.6㎏(8英寸用)
整列所需时间约为30秒。(8英寸的情况下)
停止位置可从上对齐、下对齐、90度三种中选择。 ※滚轮不可拆卸。