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日本FLUORO福乐非接触式伯努利吸盘BC-K6-300 6英寸晶圆

晶圆非接触搬送贝尔努伊 Chuck BC系列特点


  • 选择使用角度为20度、45度、90度的3个点，本体部分，平置用BC-K系列支持2英寸至12英寸。
    （使用角度为固定角度，更改使用角度需要更换本体部分）

  • 由于导向柱具有缓倾斜，因此与晶圆边缘呈点接触。

  • 使用防静电聚碳酸酯的导向环，可以进行目视定位和吸附状态的确认。

  • 通过采用导电尼龙树脂，实现了轻量化。

  • 具有双面图案印刷，并且能够应对50µm薄且难以处理的晶圆。

  • 我们也支持针对角型等目标物体的定制设计产品。

028-61747219 服务时间 9:00-20:00

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