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日本FLUORO福乐小型真泵FV-30-240 适用于4-6寸晶圆

小型真空泵

       福乐的真空泵采用紧凑型机身设计,其内部机构可实现高真空度。凭借免维护结构、静音设计以及清洁的排气系统,该产品广泛应用于半导体制造工厂的洁净室环境中;同时,其优异特性也使其成为各类自动化设备中吸附搬运系统的理想选择。


小型真空泵特点: 

  1. 通过将隔膜安装于密闭空间内并采用多级减压结构,实现了在紧凑型机身内产生高真空度的机制(FV-10型号除外);

2. 采用电磁驱动方式,因此机械磨损及接触部件较少,几乎无需维护;属于可使用至隔膜达到耐久性理论值的长寿命型产品;

3. 吸气端与排气端均配备HEPA过滤器,亦适用于洁净室环境;此外,过滤器可通过机身透明窗直观观察,便于掌握其更换时机。(FV-10除外)

4:采用结构密闭的机身设计,运行时噪音极低;与电机式设备相比,无机械接触声,确保了极高的静音性。

5:无需使用压缩机等空气源,仅需配备100V电源插座即可在任何场所使用;此外,通过与我司真空镊子配合使用,可拓展更多应用场景。

6:结构设计更为简洁,相较于同类真空泵产品,在可靠性、使用寿命及功耗等方面均具备更优的性能表现;同时,本产品价格亲民,易于购买。

小型真空泵产品列表:

所有泵的额定电压均为 AC-100V,耐久时间均不低于 9000 小时,使用最高温度均为 40℃。

※ 若在低温环境下储存,请在无负载状态下运行约 10 分钟后再投入使用。※ 各表格所列数据均适用于国内标准。

※ 各泵的流量及最大吸入压力值均表示在 50Hz 电源频率下的数值;

若在 60Hz 电源频率下使用,该数值将降低约 20%。