ULTRA QV
363系列-超高精CNC视像测量系统
日本三丰品牌 MITUTOYO ULTRA QV404 PRO 视像测量系统
特点:
1、采用高精度气浮轴承线性导轨系统,从而将直线度误差减少到最小。
2、采用分辨率为0.01mm的玻璃光栅尺,此玻璃光栅尺由位于11米处的高精密工厂制造。
3、通过使用热膨胀系数几乎为零的玻璃光栅尺,将温度变化对精度的影响减少到最低。
4、使用有限元方法(Finite Element Method)分析优化主机的机械结构。
5、稳定的几何精度(如:每个轴的直线度和垂直度)以降低热效应影响。
性能参数:
型号
ULTRA QV404 PRO
测量范围
X轴
400mm
Y轴
400mm
Z轴
200mm
分辨率
0.01µm
高灵敏度CCD照相机
黑白
精度*
(20℃±0.2℃)
E1XY
(0.25+2L/1000)µm
E1Z
(1.5+2L/1000)µm [(1+2L/1000)µm:10-60mm]
E2XY
(0.25+2L/1000)µm
最大驱动速度(X/Y/Z轴)
150mm/sec
照明
(PRL:可编程环形灯)
表面
卤素灯
轮廓
卤素灯
PRL
卤素灯
放大倍率变化系统
可编程电动转盘
工作台玻璃尺寸
493×551mm
台面最大承重
40kg
尺寸(W×D×H)**
1200×1735×1910mm
重量**
2150kg
*测量精度在以下条件下定义, 可编程电动转盘:1X 物镜设置:5X ,L为任意两点间尺寸(mm)
**包括机械台架